SEMとは走査電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope)であり，試料に電子線を照射した際に発生する二次電子信号をモニター上で画像化する装置であり，10nm単位 の高倍率・高解像度の画像を得ることができる．
EPMA(Electron Probe X-ray Micro Analyzer)は，試料に電子線を照射した際に発生する特性Ｘ線を検出し，含有元素の有無と量を知ることができる装置であり，検出器の違いにより，エネルギー分散型Ｘ線分光器(Energy Dispersive X-ray Spectrometer: EDS ,EDX)と波長分散型Ｘ線分光器(Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer:WDS,WDX)に分けられる．
それぞれ一長一短がある．
筆者らは，欠陥分析に凹凸 試料の分析が比較的容易なEDSを主に用い，更に詳細な情報を得る際はEPMAを用いている．
Fig.1～3にそれぞれの原理を示す．

▲Fig.1 電子線照射による電子情報

▲Fig.2 SEMの原理（試料の凹凸と二次電子）

▲Fig.3 EDS,EPMAの原理